FCI的GF90系列质量流量计可以探测到代表压缩机效率的流量中微小的变化。
排放流量的变化代表压缩机存在空气内部泄漏。真空系统中空气内部泄漏的负面影响是众所周知的。FCI的GF90系列质量流量计可以探测到代表压缩机效率的流量中微小的变化。成功监测的前提条件包括对低流量的灵敏性、宽量程范围、重复性及精度，而这些都是FCI热式质量流量计的标准特征。
